비접촉식 3차원 측정 시스템
초고정밀 비접촉식 3차원 측정기
VMZ Zenith Video Measuring Machine
VMZ Series는 고정밀 측정이 요구되는 분야를 위해 설계된 장비로, 서브 마이크론(Sub-micron)급 정밀도를 구현합니다.
반도체, 마이크로 어셈블리, 광통신 등 초정밀 측정이 필요한 다양한 응용 분야에 적합합니다.
PRODUCT FEATURES
초고배율의 최상급 광학 시스템
- 25~6360배의 다양한 고배율 단초점 렌즈 옵션 제공
- 레이져 자동 초점(TTL), 정밀 자동 초점 1초 미만
- 프로그래밍 가능한 48채널 링 조명으로 다양한 소재 및 형상의 제품 측정에 폭넓게 대응
고정밀 모션 스테이지
- 화강암 구조로 높은 정밀도와 뛰어난 기계적 안정성 확보
- 나노급의 초저열팽창 계수 스케일 적용으로 높은 정밀도와 안정성 보장
- 고속,저소음 모터 구동으로 부드럽고 안정적인 이송방식 지원
다양한 옵션 & 복합 측정
- 광학식 스펙트럴 디스플레이스먼트 센서 추가 장착 가능
- 높이, 평탄도 등 다양한 치수 스캐닝 및 포인트 측정을 위한 백색광 스펙트럼 변위센서 제공
- 다양한 렌즈 선택으로 더 넓은 배율 범위 구현
PRODUCT
SPECIFICATIONS
400 x 300 x 200 Travel (mm)
400 x 300 x 135 Measuring Range (mm)
800 x 1240 x 1762 External Dimensions (mm)
420 Weight (kg)
400 x 300 x 200 Travel (mm)
400 x 300 x 135 Measuring Range (mm)
800 x 1240 x 1762 External Dimensions (mm)
450 Weight (kg)
400 x 300 x 200 Travel (mm)
400 x 300 x 135 Measuring Range (mm)
800 x 1240 x 1762 External Dimensions (mm)
450 Weight (kg)
