비접촉식 3차원 측정 시스템
초고정밀 접촉식 3차원 측정기
CMZ Zenith Coordinate Measuring Machine
CMZ Series는 초고정밀 접촉식 3차원 측정 시스템으로, TZTEK사가 생산하는 고급 정밀 계측 장비입니다. 고정 브리지(fixed bridge) 구조와 탄화규소 세라믹 Z축 조합을 통해 기계 구조의 높은 안정성을 확보했습니다.
리니어 모터(linear motor) 구동을 적용하여 정밀도를 유지하면서도 더 높은 측정 속도와 가속도를 제공하므로, 복잡 형상의 부품 검사 요구를 충족할 수 있습니다.
CMZ Series는 우수한 정밀도, 높은 효율, 안정적인 성능을 갖추고 있어, 정밀 가공·조립·품질 관리에 적합하며, 계측·검사, 항공우주, 국방·군수, 자동차 제조, 전자 산업 등 다양한 분야에 응용할 수 있습니다.
PRODUCT FEATURES
우수한 시스템 설계로 서브 마이크로미터(sub-micron)급 정밀 측정 구현
- 측정기는 고정 브리지형 고강성 구조를 채택하고, 화강암 크로스빔·베드·컬럼과 정밀 탄화규소 세라믹 Z축의 조합을 통해 기계 구조의 안정성을 유지하며 외부환경에 대한 저항성을 높였습니다
- 이동 작업대는 더블 도브테일(double dovetail) 방식 에어베어링 가이드를 사용하여, 측정 성능과 하중 능력을 확보함과 동시에 뛰어난 안정성을 제공합니다
우수한 구조설계
- 탄화규소 세라믹 Z축은 열팽창 계수가 작고, 강성이 크며, 질량이 가볍다는 장점을 동시에 가지고 있어, 측정 시스템의 안정성을 보장하면서 구동성능을 향상시킵니다.
- 각 축에는 FREE LOAD(예비압력)를 건 공기 베어링과 4면 감싸는 구조를 적용해, 고강성·비접촉·저마찰·저마모 특성을 구현함으로써 장비 수명을 효과적으로 연장하고, 측정 불확도의 발생 빈도를 줄입니다.
- 제로(0) 팽창계수 광학 스케일을 사용하여 나노미터급 분해능을 실현하고, 외부 온도 변화의 영향을 거의 받지 않아 장비의 고정도와 장기 안정성을 확보합니다.
탁월한 안정성
- 낮은 열팽창 계수, 높은 강성 및 경량성을 갖춘 SiC세라믹 Z축은 측정 시스템의 안정성을 보장하고 동작 성능을 향상시킵니다.
- 각 축에 적용된 프리로드 에어 베어링과 원형 배치는 높은 강성, 비접촉, 저마찰 및 저마모를 제공하여 장비의 수명을 효과적으로 연장하고 측정 불확실성 발생 빈도를 줄입니다.
- 열팽창 계수가 0인 스케일을 채택하여 나노미터 수준의 초고해상도를 구현하며 외부 온도의 영향을 받지 않아 장비의 고정밀도와 안정성을 보장합니다.
더 안전한 Z축
- Z축은 유연한 밸런스 실린더를 채택하여 Z축 움직임의 신뢰성을 보장합니다.
- Z축 카운터밸런스 실린더는 공압 논리 보호 및 하드웨어 홀드업 보호의 두 가지 보호 메커니즘을 갖추고 있어 비상시 프로빙 시스템의 안전을 보장합니다.
자체 개발을 통한 높은 적응성
- 혁신적인 리니어 모터 구동 + TCC 자체 개발 전장 제어 시스템
- 자체 개발 소프트웨어 Vispec Cube, 독일 PTB 최고 등급 Class 1 (0.1 μm, 0.1 arcsec) 인증 획득
- HSP 고정식 스캐닝 프로브(Scanning Probe)
- TR50 회전 프로브 헤드(Rotary Head)
PRODUCT
SPECIFICATIONS
600 x 800 x 600 Travel (mm)
1682 x 2107 x 3260 External Dimensions (mm)
4760 Weight (kg)
800 x 1000 x 600 Travel (mm)
1882 x 2557 x 3260 External Dimensions (mm)
6207 Weight (kg)
1000 x 1200 x 800 Travel (mm)
2082 x 3007 x 3660 External Dimensions (mm)
8000 Weight (kg)
1000 x 1500 x 800 Travel (mm)
2082 x 3582 x 3660 External Dimensions (mm)
9600 Weight (kg)
1200 x 1500 x 1000 Travel (mm)
2282 x 3582 x 4060 External Dimensions (mm)
10800 Weight (kg)
1200 x 2000 x 1000 Travel (mm)
2282 x 4632 x 4060 External Dimensions (mm)
13800 Weight (kg)
